ＳＩＩナノテク、めっき・蒸着など金属薄膜の膜厚を高精度に測定する蛍光Ｘ線膜厚計を発売
高性能蛍光Ｘ線膜厚計の新商品 「ＳＦＴ９５５０」 を発売
大型のプリント基板・電子部品等の高精度膜厚測定に対応
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社（略称：ＳＩＩナノテク、社長：船本宏幸、本社：東京都中央区新富２－１５－５ ＲＢＭ築地ビル、ＴＥＬ：０３－６２８０－００７０）は、大型のプリント基板・電子部品等におけるめっき・蒸着等の金属薄膜の膜厚を高精度に測定する蛍光Ｘ線膜厚計「ＳＦＴ９５５０」を本日８月１日より発売します。
半導体、電子部品、プリント基板に使用されるめっき・蒸着等の金属薄膜の膜厚・組成を測定し管理することは、それら製品の機能、品質、コストを確保する上で不可欠です。高機能を要求されるそれらのめっき製品は、現在ますます微小化・薄膜化の方向にあり、ナノメートルオーダーでの精確な膜厚測定を行うことは市場ニーズとなっています。また、ＲｏＨＳ指令に代表される有害物質規制の動きは、これら極薄膜や微小部における組成分析の必要性を増大させています。
今回新たに発売される「ＳＦＴ９５５０」は、膜厚測定市場における大型プリント基板の測定や複数試料の自動測定の要求に応え、４００（Ｘ）×３００（Ｙ）×５０（Ｚ）ｍｍの大型ステージを搭載した商品です。従来は試料ステージのサイズに合わせ、試料切断が必要とされていた大型のプリント基板やウェハーなどをそのまま測定することが可能です。２００６年５月の発売より好評をいただいている、極薄のめっき・蒸着等の膜厚測定向けのＳＦＴ９５００の高精度な膜厚測定・微小部分析機能はそのままに、大型試料測定のための前処理を軽減することが可能になりました。
「ＳＦＴ９５５０」はＳＦＴ９５００と同様に、めっき製品の膜厚測定のみならず、電気製品・自動車製品等の微小部分における、鉛などＲｏＨＳ指令に代表される環境規制物質の定性・定量分析が可能です。ＳＩＩナノテクでは、電子・電気機器、部品メーカーを中心に販売を展開する予定です。
累積７０００台の蛍光Ｘ線装置販売実績を誇るＳＩＩナノテクでは、高輝度Ｘ線技術を駆使した製品展開により、微小レベルでの品質管理や環境規制対応をサポートします。
【高性能蛍光Ｘ線膜厚計ＳＦＴ９５５０の主な特長】
１．大型試料測定
大型ステージ搭載により、従来は切断しないと測定出来なかった大型試料（最大４００（Ｘ）×３００（Ｙ）×４５（Ｚ）ｍｍ）をそのまま測定できます。また、多数の小型試料をステージ上に並べ、連続で自動測定を行うことができます。
２．薄膜・多層膜測定
半導体・電子部品の分野における多層膜（金／パラジウム／ニッケル／銅素材や金／ニッケル／チタン／シリコンウェハー）における各層厚みを数ｎｍレベルで同時に測定することが可能です。Ｘ線集光系（キャピラリ）採用による微小ビーム（φ０．１ｍｍ）の高輝度化により、従来の最大５０倍（当社比）のＸ線強度を検出することで薄膜を精度良く測定します。リードフレーム、コネクタ、フレキシブル基板等の微小・薄膜の測定に対応します。
３．マッピング測定
微小ビームによるマッピング測定により、試料のめっき厚み分布や特定元素の含有分布を容易かつ迅速に観察できます。
特に実装基板における鉛フリーはんだ箇所のチェックに効力を発揮します。
４．分析機能
高計数率、かつ高分解能の液化窒素レス半導体検出器「Ｖｏｒｔｅｘ」の搭載により、未知試料の定性・定量が行えます。また、微小ビームにより異物の分析を行えます。
５．データ編集機能
Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） ＥｘｃｅｌとＭｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） Ｗｏｒｄを標準搭載しています。Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） Ｅｘｃｅｌ上では統計処理ソフトを装備しており、測定データ、平均値、最大・最小値、ＣＶ値、Ｃｐｋ等の統計処理を行えます。また、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） Ｗｏｒｄマクロソフトにより、試料画像を含む測定結果報告書が容易に作成できます。
【主な仕様】
線源： 空冷式小型Ｘ線管（５０ｋＶ，１ｍＡ）
検出器： 半導体検出器（液化窒素レスタイプ）
ビーム径： 実照射φ０．１ｍｍ（集光方式）
試料観察： ＣＣＤカメラ（ズーム機能付き）
試料合わせ： レーザポインタ
試料ステージ可動範囲： ４００（Ｘ）×３００（Ｙ）×５０（Ｚ）ｍｍ
最大試料厚み： ４５ｍｍ
フィルタ： 電動切替（１次： ３モード）
操作部： パソコン、１９インチ液晶モニタ
測定ソフト： 検量線、ＦＰソフト（バルク・薄膜）
オプション： マッピング、有害物質判定、スペクトルマッチング、画像処理、
測定機能： 自動測定、中心検索
データ処理： Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） Ｅｘｃｅｌ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ（Ｒ） Ｗｏｒｄ搭載
安全機能： 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能、装置診断機能
【価 格】
１，４９０万円（予定）
【発売開始日】
２００７年８月１日
【販売目標台数】
２０台（２００７年度）
※Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔは、米国 Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎの米国及びその他の国における登録商標または商標です。
以 上
＜この件に関するお問い合わせ先＞
お客様
分析営業総括部 営業二部
ＴＥＬ：０６－６８７１－８４５３