アネスト岩田、１，０００Ｌ／ｍｉｎクラスの空冷ドライスクロール真空ポンプを発売
世界初・大容量
空冷ドライスクロール真空ポンプ ＩＳＰ－１０００
新発売のお知らせ
アネスト岩田株式会社（社長 森本 潔、資本金 ３，３５４百万円）は、空冷ドライスクロール真空ポンプの先駆で、ＩＳＰ－９０／２５０Ｂ／５００Ｂに加えて１，０００Ｌ／ｍｉｎクラスで世界初のＩＳＰ－１０００を新発売します。初年度の販売台数２００台を目標に７月から販売を開始いたします。
液晶などのフラットパネルや半導体・記憶媒体を始めとする高度な製造工程に欠かせないクリーンな真空を必要とする製造業の皆様に最適です。さらに、広範囲な圧力領域で高い省エネルギー性を実現、産業廃棄物の最少化・ＲｏＨＳにも対応した設計となっています。
■発売の概要
真空業界では、油回転真空ポンプにより容器（チャンバー）内の不純物を除去しクリーンな真空状態にしていながら、油回転真空ポンプの潤滑油が真空下で蒸発・逆流（油の逆拡散）することでチャンバー内を汚染します。排気時には油回転真空ポンプ内の潤滑油を一緒にポンプ外に吐き出してしまう油煙という現象が生じ、クリーンルーム内で重大欠陥となる設置環境を汚染する問題がありました。
特に、半導体・フラットパネルディスプレイ・原子力・分析装置分野やそれらの先端技術の研究開発に携わる方々から真空ポンプのドライ化のご要望が多くありました。そのようなご要望の中、低振動・コンパクト・高効率というスクロール式の特徴を活かし、中排気量のドライ真空ポンプＩＳＰシリーズを当社が世界に先駆けて開発し、高い評価をいただいています。
その当社が、約１５年の市場実績と技術ノウハウを用い、空冷大容量への市場要求に応えるべく、従来の特長を継承しながらドライスクロール機構では世界初の１，０００Ｌ／ｍｉｎクラスのＩＳＰ－１０００を開発、販売を開始することとなりました。
このため、大排気量の油回転真空ポンプでは満足できなかった方々だけでなく、大排気量に適したルーツ式、スクリュー式などの圧縮機構を有した大型ドライポンプをご使用の方々に手軽で便利、環境問題にも配慮した空冷ドライ真空ポンプをお奨めいたします。
大排気量のドライ真空ポンプはその技術的な特性上、小型化や高効率性には限界があり、設置しやすい空冷式とすることにも困難が伴います。しかし、スクロール式での大型化の限界に挑んだ当社は、これらの問題を解決し、お客様のご要望に応えることができるようになりました。
さらには、安全面にも配慮しＣＳＡ／ＣＥを取得し、多重電圧にも対応しており世界各国でご愛用いただける空冷ドライスクロール真空ポンプです。
■主な特長
１．空冷で大容量
同排気量クラスのドライスクロール真空ポンプで世界初となる１，０００Ｌ／ｍｉｎクラスの真空ポンプをご提供します。また、排気量９０～１，０００Ｌ／ｍｉｎまでの４機種からお選びいただけ、手軽なドライ排気系を構成できます。
２．省電力
到達圧力時に消費電力８５０Ｗを実現しました。
３．クリーン
潤滑油を使用していないため、油の逆拡散・油煙の発生がなく、クリーンな真空・排気を確保できます。
■発売開始
２００７年７月
■主な仕様および価格
（※ 関連資料を参照してください。）
■写真
（※ 関連資料を参照してください。）