日立ハイテク、設置場所の自由度を広げた走査電子顕微鏡「ＴＤ－１０００形」を発売
新型の走査電子顕微鏡「ＴＤ－１０００形」を発売
－高コストパフォーマンスで、気軽に使えるコンパクトな電子顕微鏡－
株式会社日立ハイテクノロジーズ（執行役社長：大林 秀仁／以下、日立ハイテク）は、床置きながら、装置本体の幅を５５ｃｍとコンパクト化し、設置場所の自由度を広げた新型の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）「ＴＤ－１０００形」を開発し、８月２９日より国内の特約店ルートを通じて発売します。
走査電子顕微鏡は物質表面の微細構造を観察する装置として、ナノテクノロジー分野やバイオテクノロジー分野をはじめとする、あらゆる産業分野の研究・開発から品質管理など、多方面でその有用性が認められ、活用されています。特に、半導体デバイスの実装部品に代表される絶縁物試料や、再生医療で注目される各種培養細胞などの含水試料を前処理不要で観察できる低真空観察法（６～２７０Ｐａ）を実用化した日立Ｎａｔｕｒａｌ ＳＥＭ（以下、Ｎ－ＳＥＭ）シリーズは、世界中のお客様にご利用、ご好評をいただいています。
今回開発した「ＴＤ－１０００形」は、２００５年４月の発売以来４５０台以上を出荷した小型卓上顕微鏡「ＴＭ－１０００」（Ｍｉｎｉｓｃｏｐｅ）の上位バージョンとなる気軽に使えるＳＥＭで、床置きながら装置本体の幅を５５ｃｍとし、設置場所の自由度を広げ、最高加速電圧を２０ｋＶ、４．５ｎｍの像分解能性能（＊１）を持つコンパクトなＮ－ＳＥＭです。
試料室および試料ステージは、最大１５３ｍｍ径試料を搭載可能とし、最大試料厚さ６０ｍｍの観察（＊２）・ＥＤＸ（＊３）分析を可能としました。
操作機能面では、２００４年７月の販売以来、受注実績５００台以上の走査電子顕微鏡「Ｓ－３４００Ｎ形」の機能を踏襲。「Ｓ－３４００Ｎ形」と同様に、モニター全面に高精細ライブ像を表示できる全面表示機能や、最大５，１２０×３，８４０画素の画像データ保存など高級機能を標準搭載し、多彩な画像情報を取得でき、観察試料の多角的な評価が可能です。また、使用頻度の少ない方でも気軽に使用いただけるように、操作手順をガイドする「操作ガイド」を新規開発し、標準搭載しました。
本体標準価格は９９５万円。販売は特約店を通じて行い、特約店のネットワークを活用することで、ＳＥＭが導入されていない市場にも広く浸透させることを目指しています。出荷開始は２００７年１０月の予定で、年間６０台の販売を見込んでいます。
日立ハイテクは、８月２９日から幕張メッセで開催される「２００７分析展」において、「ＴＤ－１０００形」をパネル展示する予定です。
（＊１）二次電子像分解能、高真空モード、加速電圧：２０ｋＶ
（＊２）ＷＤ＝１５ｍｍ時の値
（＊３）Ｅｎｅｒｇｙ Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ Ｍｉｃｒｏａｎａｌｙｓｉｓ（エネルギー分散型Ｘ線分析装置）
（オプション：（株）堀場製作所製）
■「ＴＤ－１０００形」の主な仕様
※ 関連資料参照
■「ＴＤ－１０００形」の主な特長
・装置本体幅を５５ｃｍとコンパクト化し、従来と比べ設置場所の自由度を広げました。
・二次電子像分解能４．５ｎｍ（高真空、加速電圧：２０ｋＶ）、反射電子像分解能５．５ｎｍ（低真空：６Ｐａ、加速電圧：２０ｋＶ）を保証します。
・絶縁物の無処理観察／ＥＤＸ（＊５）元素分析に有効な低真空機能を標準装備。高真空・低真空の切り替えはワンクリックで行えます。
・１５３ｍｍ径、６０ｍｍ高さ（ＷＤ＝１５ｍｍ）の大型試料を搭載可能な試料室／ステージを開発。本体サイズは小さくても大きな試料を搭載できます。
・「Ｓ－３４００Ｎ形」と同様にモニタ全面に高精細ライブ像を表示できる全画面表示機能や、最大５，１２０×３，８４０画素の画像データ保存など高級機能を標準搭載しました。
・使用頻度の少ない方でも気軽に使える「操作ガイド」を標準搭載。ＳＥＭをより身近にしました。