島津製作所、検出器ユニット「SPG-120」用コントロールアンプを発売
半導体材料や光学材料の製造・検査ラインに有効な汎用小形分光器SPG-120用コントロールアンプを発売
島津製作所は、当社製小形分光器スペクトロメイトSPG-120シリーズの各種検出器ユニット(光電子増倍管ホルダ、PbSセルホルダ、ホトダイオードホルダ)用のコントロールアンプSPG-120APを発売いたします。最大ゲインを500倍とし(従来の2.5倍)、フルデジタル制御が特長です。(発売日2月21日)
コントロールアンプAT-120APは、分光測定に必要な光電子増倍管用の負高圧電源、DC/ACアンプ、チョッパ駆動回路を内蔵した精密測定用アンプです。小形分光器SPG-120シリーズで分光した光を検出器ユニットで電気信号に変え、アンプで増幅し、その値を表示します。チョッパユニットAT-120CHと組み合わせることにより、雑音に埋もれた微妙な信号を検出し増幅する、ロックイン増幅を行うこともできます(【接続例】参照)。
新製品では、ゲインを500倍まで向上(従来機は200倍)し、同時にS/Nも向上させ、より高精度な評価を可能としました。また、従来、手動で設定していたオフセット設定とロックイン増幅時のチョッパユニットの位相設定等を、外部PCから設定できるようにデジタル化しました。
エッチングプロセスにおける終点検出や、半導体材料や光学材料の透過率・反射率の評価において、研究開発時の実験用だけでなく、製造装置・検査装置への組込用などの製造・検査ラインにもお使いいただけます。また、当社AT-120APを使用すれば、負電圧ユニット、ロックインアンプなどの他の市販品を組み合わせるより安価に構成でき、設定も簡単に行えます。
【 新製品の概要 】
製 品 名:小形分光器SPG-120用コントロールアンプ AT-120AP
定 価:49万円 (税抜)
発 売 日:2007年2月21日
販売計画:50台/年
【 接続例 】
添付資料をご参照ください。