オリンパス、優れた拡張性を備えた３００ｍｍウエハ対応の半導体自動検査顕微鏡を発売
業界初の新コンセプト！「検査」と「解析」のニーズに応じて
二つのコントローラから選択可能な
半導体自動検査顕微鏡「ＭＸ６１Ａ」新発売
柔軟な自動化、明るさ４倍の新光学系搭載、優れた拡張性を実現
オリンパス株式会社（社長：菊川 剛）は、半導体検査・解析のニーズに合わせて二種類のコントローラから選択可能という業界初（※１）の新コンセプトに基づいて開発された３００ｍｍウエハ対応の半導体自動検査顕微鏡「ＭＸ６１Ａ」を７月２５日に国内で発売します。「ＭＸ６１Ａ」は当社の半導体検査顕微鏡「ＭＸシリーズ」の最上位機種で、顕微鏡観察に必要な操作の自動化・電動化を追求しつつ、「検査」と「解析」のそれぞれのニーズに対応する柔軟性と優れた拡張性を備えています。
また、新しい光学系「ＵＩＳ２（※２）対物レンズ」の搭載により暗視野観察時の明るさが当社従来モデル比約４倍となり、欠陥検出能力が向上したほか、新開発のアクティブＡＦ（オートフォーカス）の採用により、検査・解析作業の効率化を実現しています。
（※１） ２００７年７月１２日現在。当社調べ。
（※２） ＵＩＳは「Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｉｎｆｉｎｉｔｙ Ｓｙｓｔｅｍ」の略で、高解像度でシステムの拡張性に優れていることなどが特長の当社の無限遠補正光学系の総称。
【発売の概要】
製品名 ： 半導体自動検査顕微鏡「ＭＸ６１Ａ」
国内販売価格（税込み） ： ４００万円 ～
発売日 ： ２００７年７月２５日
目標販売台数（世界） ： １００台／ 年
【主な特長の概要】
１．検査ニーズと解析ニーズに合わせて二つのコントローラから選択可能
２．新光学系「ＵＩＳ２対物レンズ」の搭載による欠陥検出能力の向上
３．自動調光、電動微分干渉観察、マルチスポット方式のアクティブＡＦなど、検査・解析作業の効率化を実現
４．ウエハ自動搬送装置、電動ステージ、デジタルカメラ、深紫外線観察システムなど多彩な拡張性
【開発の背景】
１９９６年より販売開始した当社の半導体検査顕微鏡「ＭＸシリーズ」は、大型化するウエハ、微細化する半導体の観察に優れた光学性能と操作性で貢献し、市場から高い評価を得てきました。半導体デバイス産業では、近年お客様の技術の進化により、顕微鏡に求められる観察方法も、お客様ごとにカスタマイズすることが求められています。さらに、生産現場でも研究開発でも、高い光学性能はもちろんのこと、再現性の高い電動タイプの光学顕微鏡が求められています。このたび開発した「ＭＸ６１Ａ」は、ＭＸシリーズの最上位機種として、検査・解析用途においてさらなる微細化・多様化へと進む市場ニーズに応えるために、顕微鏡操作部やＡＦの電動化をはじめ、電動深紫外線観察システム、オートステージなどを柔軟に組み合わせることのできる光学顕微鏡システムとなっています。
【主な特長の詳細】
＊ 関連資料 参照
【本件に関するお問い合わせ先】
オリンパス株式会社 ＭＩＳマーケティング部
ＴＥＬ ０３－６９０１－４７８４（ダイヤルイン）
〒１６３－０９１４ 東京都新宿区西新宿２－３－１ 新宿モノリス
ホームページＵＲＬ http://www.olympus.co.jp/