住友スリーエム、超精密ろ過に最適な化学薬液用中空糸膜フィルターを発売
エレクトロニクス産業向けに化学薬液用中空糸膜フィルターを新発売
コンパクトなデザインで０．０１ミクロンクラスの超精密ろ過に最適
住友スリーエム（株）では、エレクトロニクスの分野で特にフォトレジストや高純度薬品などの超精密ろ過に使用する＜キュノ＞＜ナノシールド＞化学薬液用中空糸膜フィルターをこのほど販売開始しました。中空糸膜の採用により、従来のプリーツタイプメンブランフィルター（注１）の２．５倍以上（当社比）のろ過面積を持ち、従来ではろ過速度が問題となっていた０．０１～０．０２ミクロンクラスのろ過を低差圧で、さらに高流量で安定して行うことができます。
日本の半導体市場はデジタル家電向けなど今後も引き続き伸長が期待されています。半導体製造プロセスにおいて使用するフォトレジストや高純度薬品などの超精密なろ過工程では、従来はプリーツタイプメンブランフィルターが主流でしたが、０．０１～０．０２ミクロンクラスのろ過速度の向上、超細粒子やゲル状の変形性異物の除去などがより求められています。
＜キュノ＞＜ナノシールド＞化学薬液用中空糸膜フィルターは、ポリプロピレン製
の中空糸膜を用いた超精密ろ過用フィルターです。中心が空洞になっているマカロ
ニ状の中空糸膜を束ねて筒型形状のフィルターにしています。
同サイズのプリーツタイプメンブランフィルターの２．５倍以上（当社比）のろ過面積を有しており、コンパクトなデザインでハウジング（注２）コストを抑えられます。ろ過面積が広いことから、０．０１～０．０２ミクロンクラスのろ過を高流量で処理ができ、異物の捕捉量が増えフィルターの交換寿命が向上します。さらに、低差圧なことからゲル状の変形性異物も安定して捕捉できます。
フィルターのタイプはチューブ、カプセル、カートリッジなど５タイプをそろえており、試作から小、中、大規模ラインへと段階的に評価し生産量にあわせて選択できます。
【 ＜キュノ＞＜ナノシールド＞化学薬液用中空糸膜フィルターの仕様 】
タイプ：ＬＨＶチューブ
ろ過面積：２５ｃｍ２
サイズ：６３．５ｍｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
タイプ：ＬＨＶチューブ
ろ過面積：１１０ｃｍ２
サイズ：９５．３ｍｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
タイプ：ＳＤＣカプセル
ろ過面積：９６０ｃｍ２
サイズ：５．１ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
タイプ：ＭＤＣカプセル
ろ過面積：３８００ｃｍ２
サイズ：１２．７ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
タイプ：ＬＤＣカプセル
ろ過面積：１．０ｍ２
サイズ：１２．７ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン、ポリプロピレン
タイプ：ＬＤＣカプセル
ろ過面積：２．２ｍ２
サイズ：２５．４ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン、ポリプロピレン
タイプ：ＨＦＰカートリッジ
ろ過面積：２．２ｍ２
サイズ：２５．４ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
タイプ：ＨＦＰカートリッジ
ろ過面積：４．４ｍ２
サイズ：５０．８ｃｍ
ろ材以外の部材：ポリエチレン
住友スリーエムでは、２００５年に＜キュノ＞＜ナノシールド＞フィルターのハイスペック洗浄グレードを発売しています。新製品によりエレクトロニクス分野向けフィルターの製品ラインを拡充しました。
（注１）メンブランフィルター：細菌や酵母など、微細な粒子を捕捉するのに適した薄い膜状のろ材。通常プリーツ加工をして面積を増大させたカートリッジ構造となっている。
（注２）ハウジング：ろ過に使用するフィルター容器
※１ミクロンは１０００分の１ミリ
＜キュノ＞＜ナノシールド＞は３Ｍ社の商標です。
住友スリーエム株式会社
住 所：〒１５８－８５８３ 東京都世田谷区玉川台２－３３－１
資本金：１８９億２，９２７万円 社 長：ポール・Ｄ． ロッソ
製品についてのお問い合わせは、
カスタマーコールセンター ＴＥＬ ０３－３７０９－９２３５
以 上